等离子体增强回转PECVD系统_矿山设备_产品

一、主要特点

我司研制的回转PECVD系统能使整个实验腔体都处于辉光产生区，辉光均匀等效，这种技术很好的解决了传统等离子工作不稳定状态，这样离子化的范围和强度是传统PECVD的百倍，并解决了物料不均匀堆积现象

该款设备选用特殊形状(两头细中间粗)的石英管作为化学气相沉积的反应室;加热的同时炉管可360度旋转，管内壁有石英挡片帮助粉体材料翻炒有助于烧结得更均匀;而且炉体可左右大角度倾斜，方便进出料，倾斜角度在0~35°可调。

此款设备现广泛应用于低温石墨烯制备实验、粉体材料碳包覆实验。

二、技术参数

加热炉
使用温度	≤1200℃
加热区长度	440mm
恒温区长度	200mm
加热元件	电阻丝（掺钼铁铬铝合金）
控温精度	±1℃
控温方式	7"液晶触屏与工控仪表双重控温，模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能
炉管尺寸	Φ60420mm+Φ100360mm+Φ60*420mm
炉管转速	3~13r/min
倾斜角度	0~35°
PE源
信号频率	13.56MHz±0.005%
功率输出范围	0-500W
射频输出接口	50Ω，N-type，female
功率稳定性	≤5W
气路系统
供气系统	高精度质量流量计（量程可选）
准确度	±1.5%
响应精度	±0.2%
响应时间	气特性：1~4sec，电特性：10sec
工作压差范围	0.1~0.5MPa
压力	≤3MPa
连接头类型	Φ6mm双卡套不锈钢接头
真空系统
真空系统	采用KF25系列波纹管和手动挡板阀
	真空度可达10^-1Pa
	数显真空测试仪可直观的显示数值

等离子体增强回转PECVD系统