MBF100-10型气相沉积炉

一、 设备名称、型号：MBF100-10型气相沉积炉

二、 技术指标与基本配置

2.1 额定温度：750℃；

2.2 **温度：1000℃；

2.3 加热区尺寸：770×770×300mm（W×D×H）；

2.4 有效尺寸：640×640×250mm（W×D×H）；

2.5 外腔体材质：SUS310S；

2.6 内胆材质：熔融石英；

2.7 产品尺寸：Φ120；

2.8 设备产能：每炉可放置16片基板；

2.9 加热功率：16kW；

2.10 加热方式：底部+四侧（五面加热）；

2.11 控温点数：底部+侧面，共2点；

2.12 热偶类型：K分度；

2.13 升温速率：≤8℃/min；

2.14 加热元件：FEC陶瓷纤维加热器；

2.15 炉门开启方式：顶开门设计；

2.16 控温稳定度：±1℃；

2.17 控温仪表：进口温控仪，具有PID自整定功能；

2.18 程序步数：20步；

2.19 报警保护：超温、断偶等声光报警保护，并具有超温报警断电保护功能；

2.20 表面温升：＜35℃；

2.21 设备重量：约500kg；

2.22 外形参考尺寸：1200×1200×1500mm（W×D×H），实际尺寸以*终产品为准；

2.23 设备外颜色：浅灰色。

三、设备正常运行条件

环境条件：温度0～40℃，湿度≤80％RH，无腐蚀性气体，无强烈气流扰动；

地面要求：水平、无明显震动，承重＞500Kg/m²；

动力条件：容量大于22kVA，3相5线，电压220/380V，频率50Hz。火线：黄色、绿色、红色，零线：蓝色，地线：黄绿色；

安装场地：1500mm×1500mm×3000mm（D×W×H），安装面积大于2.5m²。