碳化硅基板烧结推板炉

热工参数：

额定温度 MAX：1250℃，NOR：1200℃（测温环标准） 

控温组数 13区加热，16点控温，其中，1～9温区单点控温，10、11、12温区上下两点控温；13温区单点控温 

加热功率 约200KW  

工作电源 3P AC380V 

高温区温度均匀性 ≤±3℃ 

炉温稳定度 ±2℃/24h（以仪表显示为准） 

炉体外表温升 ≤50℃（以表面测温仪测定为准） 

出口温度 窑具外表面约150℃（在常速下） 

炉内气氛 空气 

气氛补充进气口 5个，自然吸气进入炉膛补充空气的大小，排除炉内废气。进气量大小可调 

前排废气口 6个，排除炉内产生的废气。排气口设有调节阀。 

后排气口 2个。排除炉内的高温气体，起降温作用。排气口设有调节阀。 

冷却进气口 降温区2组，设置有挡板阀