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详细说明
型号:
6吋托盘 SiC外延设备零部件
| 产品介绍及用途: | 放置SiC衬底,用于生长SiC外延片 |
| 产品所处设备位置: | 反应腔内,直接接触晶圆 |
| 主要下游产品: | 功率器件 |
| 主要终端市场: | 新能源汽车 |
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| 产品介绍及用途: | 放置SiC衬底,用于生长SiC外延片 |
| 产品所处设备位置: | 反应腔内,直接接触晶圆 |
| 主要下游产品: | 功率器件 |
| 主要终端市场: | 新能源汽车 |