碳化硅

       在材料产品中，CVD-SiC是颇具成长性的产品，该产品可作为半导体生产设备的治具及部件。碳化硅是硅和碳1:1结合构成的一种化合物，其硬度仅次于钻石和碳化硼。Ferrotec应用含有硅和碳的气体即CVD工艺法来进行制造。以硅片为例，采用CVD法将碳化硅涂覆在加工成圆盘状的石墨基材表面，切削外缘后，通过高温氧化除去石墨基材，再经过数道后续加工，硅片就完成了。在能源等高端产业领域，碳化硅这种高纯度材料受到越来越多的关注。