涡旋真空泵

· 概况原理

涡旋真空泵主要由固定涡旋盘与驱动涡旋盘构成。驱动涡旋盘在固定涡旋盘中转动，产生一个旋转输送动作，将气体从涡旋盘外缘吸入，然后将其在两个涡旋盘间压缩并输送至涡旋盘中央。

该工作原理无需任何润滑，实现了完全干式压缩。由于轴承与压缩腔室分离，抽送的气体能够保持清洁，不会被轴承润滑脂污染。另外，其紧凑的设计 (≤ 1x10-6 mbar L/s) 能够防止抽送的气体被外界空气污染。日常的维护仅限于更换涡旋盘端面密封条。操作人员无需任何专用工具，在几分钟内便可完成更换。

· 主要特点

1. 抽速范围广，从1 L/s到16 L/s；

2. 极限真空度达到1 Pa；

3. 全无油，不返油，低能耗

4. 体积小、重量轻

· 主要用途

1. 分析测试仪器/能谱仪/扫描电镜

2. 真空镀膜（PVD/CVD/LPD等）

3. LED/LCD/激光管抽真空与封装

4. 电子束焊接/激光焊接

5. 真空炉/单晶炉/烘箱

6. 手套箱/排气台

7. 预处理室/样品传输室抽真空

8. He质谱检漏

9. 空间环境模拟

10. 分子泵前级

11.冷凝泵再生