水平LPCVD是高质量大批量大尺寸石墨烯CVD法生长专用设备，多种工艺气体、生长压力、工艺温度、工艺过程计算机全自动控制。该设备亦可其他大衬底LPCVD法成膜沉积工艺
主营： 真空炉 粉体焙烧炉 箱式炉 气体发生器/气体处理 半导体行业专用仪器 石墨烯
