三位置真空蝶阀

ISO-KF型式3位置真空蝶阀

ISO-F型式3位置真空蝶阀

Htc日扬真空三位置真空蝶阀由旋转气缸阀驱动，具有三位置功能，安装方便，体积小，寿命长，产品出厂全部用氦质谱检漏仪检测。三位置真空蝶阀开度可设定为0-90°，主要应用是在高真空环境设备系统过程中完全隔离污染和腐蚀性气体。 真空蝶阀位于真空泵和真空腔体处理室之间，可以控制设置第3位置以改变电导。

主应用

紧凑型隔离阀板，用于高传导清洁过程。

有第三个位置来改变电导，一个蝶阀拥有两个真空碟阀功能。

应用制程产业

• FPD 平面显示器

• SEMI 半导体

• PVD 物理气相沉积