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详细说明
型号：
LKF5系列-耐腐蚀气体流量控制器
Alicat的LKF5系列数字式质量流量控制器可精确、快速控制
腐蚀性气体(如：NH3、H2S、CL2、SO2、SiH4等)的质量
流量、体积流量、压力和温度。LKF5系列质量流量控制器
通过定制化的高速比例控制阀还可精确控制腐蚀性过程
气体的质量流量、体积流量和压力。
更适用于液体气化后的流量控制。
如：氨水、硅油气化后，限度允许气体湿度195%。
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