手动真空波纹管角阀系列

产品介绍

手动真空波纹管角阀采用316L波纹管并结合洁净工艺处理，使阀门在使用过程中减少颗粒物的产生，非常适用于半导体行业或研究环境。它主要用于规格仪表或系统隔离，同时也推荐作为通气、旁路或粗抽阀使用。

主要部件材料

阀体                       316L /316L（VIM+VAR）
密封圈                    FKM
波纹管                    316L

手柄                       6061

工作条件

真空压力等级         0.1Mpa-1x10 ^-9 pa
漏率                      ≤ 1×10 ^-10 Pa.m³ /sec.He

CV值                       1.0/1.5/2.2

工作温度                -10 ～ 80℃

内表面粗糙度          Ra ≤ 0.13μm

产品特点

采用 316L 波纹管并结合洁净工艺处理