PU21系列小流量高纯减压器

结构特点 Features                                           

 ◆ 金属膜片密封 ，提高产品的洁净度与泄漏率

◆ 流道内部电解抛光粗糙度：EP: Ra 5 μin BA: Ra 10μin

◆ 母体螺纹：1/4"JFS接头

◆ 内部容积：0.49in³

◆ ＊大流量：标准:30 SLPM,高流量 HF:120 SLPM

◆ 设计验证压力：＊大额定压力的150%

◆ 设计爆炸压力：＊大额定压力的300%

◆ 100%出厂氦气测试

产品应用 Product application

◆ 腐蚀性和特殊气体

◆ 半导体行业

◆ 研究实验室

◆ 化学工业

技术参数 Specifications

◆ 母体 ：SS316L ，SS316L VIN/VAR ，Hastelloy®C22

◆ 阀座： PCTFE，Vespel®

◆ 膜片 ：SS316L，Hastelloy®C22合金

◆ 进气压力：300, 3500psig

◆ 出气压力：10,15,25, 50, 100, 150psig

◆ 工作温度：PCTFE：- 10℃至80℃ ( 14℉至176℉)  

                   Vespel®：- 26℃至177℃ ( 15℉至350℉)

◆ 泄漏率：

              内漏2x10-10 sccs He

              外漏2x10-9 sccs He

◆ 流量参数：Cv =0. 09 HF Cv=0.15