CVD金刚石厚膜片在硅或金属钼基体上采用化学气相沉积方法沉积金刚石，金刚石膜稳定生长一定时间后达到所需的厚度并从基体上脱落，形成自支撑金刚石片。可根据需要，采用激光切割，研磨抛光等工艺加工成各种形状使用。
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