真空泵

真空专家： 带有预进气冷却装置的 AERZEN 鼓风机

为了实现预进气冷却，壳体在进气侧增加了一个插口（原有两个，现为三个）。 滑油供应由溅油润滑实现。 输送室由密封装置真空密封。 驱动轴由带有油栏的两个径向密封环密封。 流动方向为纵向，自上而下。 驱动可以通过直接耦合也可以通过窄 V 型皮带来实现（在限制压力差之下）。

应用 AERZEN mHV 系列鼓风机的特殊优势：

• 全球规模**的鼓风机系列，有 11 种结构尺寸可选

• 在适用范围内，粗略真空可作为多级泵座的中间级，或者作为相对于大气压力的负压级亦适用

• 压力差**可达 800 mbar

• 适用于较高的压缩比和 p1/p2 = 5 以内的粗略真空范围

• 适于持续运行且不会造成过热问题

• 明显降低压缩排气温度

• 无需其他必要的阀门、控制器等

适用于所有应用的全能型天才。

带有密闭式驱动装置的 AERZEN 鼓风机经过专门设计，可输送中性（HM 系列）和腐蚀性（CM 系列）气体，专用于工业高真空技术。 密闭式电机鼓风机始终结合前级泵使用*。 
此前级泵在大气压力条件下开始运行。 通常在大约 50 至 200 mbar 的条件下连接密闭式电机鼓风机，然后泵送流程启动。 根据应用的不同，可以使用液环泵、滑片式真空泵、螺杆真空泵或鼓风机作为前级泵。 配有 AERZEN 变频器并使用专用参数集时，前级泵也可以在大气压力条件下运行。

应用领域

• 半导体行业

• 微电子工业

• 平面屏幕制造

• 激光技术

• 太阳能技术

• 氦检漏装置

• 化学工艺技术

• 箔纸和玻璃喷漆

• 熔炉制造

• 氢的提取

*使用带有密闭式驱动装置的 AERZEN 真空鼓风机时，必须配备额外的前级泵（多级系统）。