纳米氧化铝研磨液

氧化铝研磨液

在半导体制造领域，超精密半导体研磨液作为关键工艺材料，直接决定了晶圆表面的平整度与器件性能的可靠性。超精密半导体研磨液DXN-AL-30 通过化学机械抛光（CMP）技术实现表面处理，其作用机制是化学腐蚀与机械研磨的协同效应。导体芯片制造中，晶圆经过刻蚀、离子注入等工艺过程，表面会变得凹凸不平，并产生多余的表面物等。为降低晶圆表面的粗糙度、起伏和不平度，去除晶圆表面多余物，有效实施后续工序，需要使用抛光液等抛光材料在专用设备上对晶圆进行多次抛光处理。达西浓纳米生产纳米氧化铝研磨液，稀土研磨液，液体分散均匀，不团聚，悬浮性好，抛光速度快，表面质量高。

半导体研磨液参数如下：

粒度测试数据如下：

氧化铝研磨液DXN-AL30特点：

1.液体颗粒均匀，流动性，稳定性好；

2.抛光精度高，产品质量高；

氧化铝研磨液DXN-AL30应用于：

导体芯片制造中，晶圆经过刻蚀、离子注入等工艺过程，表面会变得凹凸不平，并产生多余的表面物等。为降低晶圆表面的粗糙度、起伏和不平度，去除晶圆表面多余物，有效实施后续工序，需要使用抛光液等抛光材料在专用设备上对晶圆进行多次抛光处理。

氧化铝研磨液包装：25kg/桶