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详细说明
型号:
UV-LED 石墨盘
产品介绍:
放置2时蓝宝石衬底,用于生长深紫外 LED的外延片
适用机型:
AIX CCS
产品参数:
基材:等静压石墨(纯度 >6N)
涂层:B-SiC(厚度=110±10 um)
特点:致密度高,耐高温耐腐蚀,涂层结合力强
使用寿命:>50Run
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产品介绍:
放置2时蓝宝石衬底,用于生长深紫外 LED的外延片
适用机型:
AIX CCS
产品参数:
基材:等静压石墨(纯度 >6N)
涂层:B-SiC(厚度=110±10 um)
特点:致密度高,耐高温耐腐蚀,涂层结合力强
使用寿命:>50Run