产品介绍：
放置 SiC 衬底，用于生长 SiC 外延片
适用机型：SiC 外延水平6吋&8时机台
产品参数：
基材：等静压石墨（纯度 >6N）
特点：纯度高，热均匀性好
使用寿命：>1500um
主营： 石墨 粉体焙烧炉
