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详细说明
型号：
离子束抛光机ÅFiSy IFS500A
名称 | 参数 |
加工能力 (**工件尺寸) | **尺寸500mm×500mm **厚度80mm |
可加工面形 | 平面、球面、非球面、自由曲面、抛物面等 |
可加工材料 | 石英、微晶、ULE、蓝宝石、单晶硅、碳化硅等 |
可加工精度 | |
X轴行程 | ≥500mm |
Y轴行程 | ≥500mm |
Z轴行程 | ≥500mm |
离子源 | 德国射频离子源 |
中和器 | 德国 |
工作真空建立时间 | ≤1小时 |
副室真空建立时间 | ≤15分钟 |
保护功能 | 具备意外断电、断水、断气等故障报警保护、运动系统故保护、离子源故障保护等 |
智能功能 | 具备智能一键开机、一键停机、定时开机、定时停机、预约加工、加工保护、远程协助、日志等高级功能 |
外形尺寸 | 2.5m×2.5m×2.5m |
整机重量 | 5吨 |
能耗功率 | Max.12KW, Avg.5kW |
长沙埃福思科技研制的离子束抛光机ÅFiSy IFS500A具备3轴3联动功能，**可加工500×500mm尺寸的工件，具备平面、球面、非球面等光学零件的加工能力。该离子束抛光机主要由真空系统、运动系统、离子源系统、电气控制及软件等组成。具有高精度真空运动系统、工件智能定位、工件立式优化布局、纳米（亚纳米）精度超光滑表面加工。长沙埃福思科技研制的离子束抛光机ÅFiSy IFS500A具备3轴3联动功能，**可加工500×500mm尺寸的工件，具备平面、球面、非球面等光学零件的加工能力。该离子束抛光机主要由真空系统、运动系统、离子源系统、电气控制及软件等组成。具有高精度真空运动系统、工件智能定位、工件立式优化布局、纳米（亚纳米）精度超光滑表面加工。
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