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详细说明
型号:
化学机械抛光机 TMP-150A
TMP-150ATMP-200A
晶圆尺寸4/6英寸
抛光盘规格OD406 mm
晶圆气囊压力70-500 g/cm²
保持环压力70-700 g/cm²
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TMP-150ATMP-200A
晶圆尺寸4/6英寸
抛光盘规格OD406 mm
晶圆气囊压力70-500 g/cm²
保持环压力70-700 g/cm²