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详细说明
型号:
精密四工位CMP抛光机KD36QS4
特点:
伺服修盘系统,确保磨盘足够的平坦度。磨盘在线检测恒温系统,防止工件变形及脱片。多段货柔性加压系统,满足复杂的加工工艺要求。数字化加液系统,减少磨液损耗。四工位独立变速控制系统。
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特点:
伺服修盘系统,确保磨盘足够的平坦度。磨盘在线检测恒温系统,防止工件变形及脱片。多段货柔性加压系统,满足复杂的加工工艺要求。数字化加液系统,减少磨液损耗。四工位独立变速控制系统。