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单面CMP抛光机
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发货 广东省深圳市光明区
品牌 梦启半导体
过期 长期有效
更新 2025-11-15 10:54
 
详细说明
型号： 单面CMP抛光机


参数名称单位DL-855/4P-CMP
主电源V三相 380
主电机功率KW15
主电机转速RPM0~85
上盘驱动电机转速RPM0~70
抛光盘尺寸mm855
加工尺寸寸2-8
工作工位组4
工件盘尺寸
mmΦ305x15
单工位压力Kg20~300
抛光液流速L/min15（可调）
主盘温度检测度±5
设备尺寸（W x D x H）mm1200x1650x2250
设备重量Kg约2450


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