产品名称
ACME顶立科技 化学气相沉积炉 抗污染能力强 陶瓷基复合材料
单位
台
价格
2685000.00/台
最高温度（℃）
1500~2000
型号
支持定制
真空泵
机械泵组/耐腐蚀泵组
加热功率
以订购设备最高温度确定功率数值
适用范围
航天、航空、高铁、汽车、光伏、电子、核电等
工艺气氛
真空/H2/N2/Ar/C3H6/ZrCl4/HfCl4/BCl3/TaCl5/ZrB2/HfB2/TaB2。
加热器、马弗材质
石墨/CFC
包装规格
木箱
保温材质
碳毡/石墨毡/碳纤维固化毡
质保期
一年
炉壳材质
内层不锈钢/全不锈钢
适用对象
航天、航空、高铁、汽车、光伏、电子、核电等
温度均匀性（℃）
±5~±20
结构形式
卧式-单开门/双开门；立式-上出料/下出料
生产能力
年产100台套
